服务电话：
新闻中心
您当前的位置：首页 > 新闻中心
-
20
2026-01
星期 二
-
上海mems电容真空计 上海辰仪测量技术供应
电容式薄膜真空计（MEMS规）通过金属薄膜在压力下的形变改变电容值，量程覆盖10⁵~10⁻⁴Pa，精度±0.25%。温度系数低（<0.01%/℃），适合宽温域应用。硅微加工技术制造的MEMS规体积*硬币大小，响应时间<
-
20
2026-01
星期 二
-
上海陶瓷真空计供应商 上海辰仪测量技术供应
四极质谱仪（残余气体分析仪）通过质荷比（m/z）分析气体成分，结合离子流强度定量分压。质量范围1~300amu，检测限10⁻¹²Pa。需配合电离规使用，用于真空系统污染诊断（如检出H₂O峰提示漏气）。动态模式可实时监控工艺气体（如
-
20
2026-01
星期 二
-
上海高精度真空计生产企业 上海辰仪测量技术供应
概述陶瓷薄膜真空计是一种用于测量真空环境中压力的传感器，应用于半导体制造、真空镀膜、科研实验等领域。其部件是陶瓷薄膜，通过测量薄膜在压力作用下的形变来推算真空度。工作原理薄膜形变：陶瓷薄膜在压力差作用下发生形变。信号转换：形变通过
-
19
2026-01
星期 一
-
上海大气压真空计生产企业 上海辰仪测量技术供应
4.电容式真空计电容式真空计通过测量电容变化来间接测量压力，适用于中真空和高真空范围。（1）电容薄膜真空计原理：利用薄膜在压力作用下的形变引起电容变化来测量压力。测量范围：10⁻⁶Torr到1000Torr。优点：精度高、响应快。
-
19
2026-01
星期 一
-
上海真空计原厂家 上海辰仪测量技术供应
其他角度对真空计进行分类，如根据测量范围、精度、使用条件等。不同类型的真空计在这些方面也有区别。例如，MEMS电容薄膜真空计作为MEMS电容式传感器的一种，具有小型化、低成本、高性能、易与CMOS集成电路兼容等特点。它能够满足深空
推荐资讯