通常将三坐标测量机的几何参数误差按其在各运动自由度方向作用分类，分为三项位置度、六项直线度、九项角摆误差、以及三轴相互之间的三项垂直度，共二十一项参数误差。
二十一项误差是三坐标测量机的基本几何误差，为了保证三坐标测量机满足示值误差及探测误差的要求，三坐标测量机生产厂家都要测量和控制这二十一项误差，必要时进行补偿。
二十一项误差的测量可以使用不同的测量仪器进行检测以便于修正，包括双频激光干涉仪、电子水平仪、直角尺、高精度电感测微仪，但是，需要注意的是，使用上述仪器测量参数误差时，测量结果可能是几种参数误差的综合结果。这二十一项中有：
X、Y、Z三个方向的位置度；
沿X、Y、Z三个方向运动时的六个直线（3X2）；
沿X、Y、Z三个方向运动时自转、俯仰、方向九个角摆；
X、Y、Z各轴间三个垂直度；
对水平臂三坐标测量机测为24项误差，即加上水平臂伸出时的下垂量误差。
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