氦检仪作为一种磁偏转型质谱分析仪器,结构上分单级磁偏转型和双级串联偏转性,而在结构组成上,大部分氦检仪就是由质谱室、真空系统以及电气系统3部分组成的:质谱室是这种真空氦检仪器的心脏,又包括离子源、分析器、收集器、前级放大器、冷阴极电离真空计等组成部分;真空系统用于为质谱室提供真空工作条件,保证氦离子的传输率;电气系统的重点功能就是为质谱室供电与测量。另外在有些条件下,氦质谱检漏可能还会需要辅助真空系统,完成一些预抽、保证氦检仪真空度等工作。氦检仪为气体工业名词术语,用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。常州自动氦质谱检漏仪注意事项
选购氦检仪的注意事项有哪些?1.注意检漏需求和设备功能的匹配度,根据现如今产品批量筛选和检查泄露的需求进行研究可以发现,不同的产品检漏操作时所需要的模式等都有着显着的区别,消费者在选购氦检仪时必须要根据产品的检测功能需求进行挑选,例如仪器需要批量检查的需求则必须要确保这种氦检仪的检查速度,立足于自身的需求保证这种氦检仪的功能得以实现才是较正确的挑选方式;2.注意检测灵敏度和操作模式特点,消费者在挑选这种检测仪器时,必须要分析各种检测仪器的检测模式,确保这种氦检仪以更高的灵敏度和更广阔的检测范围来提高生产的效率,并且在挑选氦检仪时也必须要根据该种产品的灵敏度和口碑进行分析,确保这种氦检仪的精确度更强能够满足于不同产品的检查需求。无锡客制化氦质谱检漏仪氦检仪检漏范围宽:不只可检测氦气,而且能检测其它气体。
氦检仪应用领域:工业:真空炉、镀膜系统、压力容器、超高真空工程。高能物理:加速器、束线、同步辐射光源。科研领域:空间模拟系统、试验装置、微电子、表面分析系统。半导体及电子:工艺设备、气路、气路传输设备、电子元器件、封装。汽车制冷:蒸发器、空调、管路。核工业:核电阀门、核容器。航空航天:空间模拟器、航天器、管路。电厂:管道、蒸汽发生器、热交换器、冷凝器。氦检仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的仪器。氦质谱检漏方法与气泡识别法、压强衰减法和卤素检漏等方法相比,具有检测灵敏度高、速度快和适用范围宽,此外氦检仪选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦作为探索气体,所以安全可靠。
氦检仪测量数据处理:漏率示值误差,①漏率的温度修正,标准漏孔漏率易受温度变化影响,温度对标准漏孔漏率的影响一般为3%/℃,所以如果实际环境温度和标准漏孔证书中温度不一致,需要将标准漏孔证书中漏率和标准漏孔漏率的氦检仪示值修正至同一环境温度下来计算,并在测试结果中加以说明,修正方法如下:方法一:将标准漏孔证书中的漏率修正至实际环境温度下,用标准漏孔证书中的漏率加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值;方法二:将标准漏孔漏率的氦检仪示值平均值修正至标准漏孔证书中环境温度下,用标准漏孔漏率的氦检仪示值平均值加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值。氦检仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
在针对氦检仪选择和安装真空计时,必须考虑其特性和真空测量的特性:由于真空室中存在潜在的压力梯度,恰当选择安装位置。表面和密封材料呈现脱气现象。因此真空计可指示的压力高于真空室压力。连接法兰因此应该尽可能的短,且密封件数量减少到蕞小。电离真空计具有抽气效应,因此指示的压力低于真空室中的实际压力。冷阴极真空计具有固有的溅射效应,这在中真空范围内与重型气体(如氩)一起抽空时尤为明显。这可导致不一致和不准确的读数。当烃类存在时,电离真空计受到有机分子分解产物的污染。如同溅射效应一样,读数可以干燥扰或不一致。必须选择电离真空计的开关点,以避免因上述现象导致的污染。强磁场和电场会影响真空计的性能。尤其对于电离真空计而言。为能够产生超高真空,必须对真空设备,包括真空计进行烘烤。必须遵守技术要求中规定的蕞大烘烤温度和条件。氦检仪是真空检漏技术中灵敏度较高,用得较普遍的氦检仪器。江苏模块式氦质谱检漏仪生产厂家
氦检仪为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。常州自动氦质谱检漏仪注意事项
氦质谱检漏仪的维护方法及常见故障的处理:一、机械维护,检查泵的油量,如果低于低标线,则加入泵油;如果变黑或浑浊,则更换泵。使用方法见机械泵说明书。二、清洗,泄漏探测器没有氦进入,但有一定的泄漏率指示,长期存在。这主要是由于检漏口、波纹管、密封圈等被污染后吸附的氦气,在检漏时又被释放,造成较大的底部。为防止油污、粉尘和杂物进入氦质谱检漏仪,在氦质谱检漏仪下方设置过滤器,将其拆下,用酒精浸泡清洗。检查泄漏,用棉布擦拭波纹管。三、以下是常见的故障现象、原因及解决方法。断电:1.电源线连接不当;2、保险管熔断。3、重新接通电源。4.更换相同规格的保险管。常州自动氦质谱检漏仪注意事项
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